概述 工具顯微鏡是一種多功能光機二坐標(biāo)測量儀器。 精密機械零件的長度和角度性能通常采用成像法和軸向切削法進行測量。 要求金屬工作面與縱、橫向滑板運動方向的平行度不大于01mm。 75mm長度上的0.02mm不得大于0.02mm。 玻璃工作面與縱橫滑板移動的平行度不應(yīng)大于0.02mm。 萬能工具顯微鏡不得大于0.02mm； 大、小工具顯微鏡不得大于0.03mm。 3.3 縱、水平滑板的直線度和角度不應(yīng)大于0.02mm。 大于工作臺 萬能工具顯微鏡 大型工具顯微鏡 小型工具顯微鏡 3.4 萬能工具顯微鏡垂直、水平滑動運動的垂直度不大于0.003mm/100mm。 大型工具顯微鏡不大于0.005mm/50mm。 小工具顯微鏡不大于.004mm/25mm。 3.5 當(dāng)立柱處于零位，用量塊檢驗光軸與工作面的垂直度時，量塊兩個工作面上的圖像應(yīng)該同樣清楚。 3.6 立柱處于零位時萬能工具顯微鏡，立柱導(dǎo)軌運動方向上顯微鏡主臂與工作表面的垂直度對于萬能工具顯微鏡不大于0.06mm/100mm； 大小工具顯微鏡均不大于0.09mm/.7。 讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的正確性 不大于0..8 主顯微鏡放大倍數(shù)的正確性 不大于表3.9 測角顯微鏡處于零位時，測角目鏡十字準(zhǔn)線之間的平行度滑塊移動方向不大于 3.10 測角顯微鏡的示值誤差不大于 3.11 讀數(shù)裝置的示值誤差不大于 0..12 萬能工具讀數(shù)裝置的回程誤差顯微鏡不應(yīng)大于0.3。 大小工具顯微鏡的Amo不得大于0.002毫米。 3.13 萬能工具顯微鏡儀器的示值誤差應(yīng)不大于L/100)tim； 是小型工具顯微鏡的差動圓柱體，具有大標(biāo)尺長度（mm）被檢查。 任意兩點之間的示值誤差不大于0.003mm。 使用量塊時的示值誤差不大于表的規(guī)定。
JJ56-2000 測量范圍 mm125 示值誤差 mm3.14 頂桿連同頂桿的徑向跳動不大于0.005mm； 內(nèi)頂針不大于0.007mm。 3.15 兩頂針軸線與縱向滑板運動方向的平行度萬能工具顯微鏡。 垂直、水平方向均不大于0.015mm； 對于大型和小型工具顯微鏡，垂直方向不大于0.04mm。 3.16 兩個頂針的重合度。 兩個頂針在水平方向重合。 對于萬能工具顯微鏡萬能工具顯微鏡，當(dāng)兩頂針相距20mm時，距離為200mm時不大于0.01mm； 距離200mm時不大于0.02mm。 對于大型和小型工具顯微鏡，當(dāng)兩頂針之間的距離為測量范圍內(nèi)的任意尺寸時，不應(yīng)大于0.02mm。 17 量具墊上表面與頂針軸線的高度差不應(yīng)大于0.015mm。 3.18 主鏡光軸和立柱旋轉(zhuǎn)軸 與頂針軸線的相對位置。 當(dāng)立柱從零位向左、右旋轉(zhuǎn)12'時，瞄準(zhǔn)點左右方向位移不超過0.01mm。 投影裝置的放大倍數(shù)前后方向精度分別不大于0.002mm（萬能工具顯微鏡）和0.003mm（大小工具顯微鏡）。 投影裝置的放大倍數(shù)誤差不應(yīng)大于0.6%。
